Stämplade delar av aluminiumplåt

Oxidationsprocess

Följande steg ingår ofta i oxidationsprocessen:

1. Matning av råmaterial: Använd rör för att förse reaktorn med råmaterial för att upprätthålla en korrekt balans mellan råvaror inuti.
2. Reaktion: För att utföra oxidationsreaktionen, tillsätt syre till reaktorn och reglera reaktionsparametrarna (såsom temperatur, tryck och reaktionstid).
3. Produktseparation: Använd en luftkylare för att kyla den reagerade produkten, förvandla den från gasform till flytande eller fast form och använd sedan en separator för att separera produkterna som härrör från olika komponenter.
4. Rening: För att säkerställa att reaktionsprodukten når den nödvändiga renheten, rena den.
5. Förpackning: Efter att produkterna har renats förpackas de i enlighet med riktlinjer och standarder innan de antingen säljs till kunder eller skickas vidare till nästa steg i bearbetningen.

I vissa specifika tillämpningar, såsom bearbetning av halvledarskivor, involverar oxidationsprocessen också att tillhandahålla oxidanter (såsom vatten, syre) och termisk energi på kiselsubstratet för att bilda en kiseldioxidfilm (SiO2). Denna oxidfilm skyddar wafern genom att förhindra läckström från att flyta mellan kretsar, förhindra diffusion under jonimplantationsprocessen och fungerar som en anti-etsningsfilm som förhindrar felaktig etsning under etsningsprocessen.